微小領域の観察、元素分析試料最表面の微細な構造をより明確に観察でき、高倍率のSEM像が得られます。
また、EDSを備えており、観察部位の元素分析を行うことができます。
注意：下記のようなサンプルは観察できません。
１）磁石にくっつくもの
２）多量の水分を含んだもの
３）減圧するとガスがでてくるもの
| 使用料項目 | SEM観察のみの場合：電界放出型走査電子顕微鏡、EDS使用する場合：エネルギー分散型X線分析装置（SEM使用含む） |
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機器の仕様
| メーカー | 日本電子（株） |
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| 型式 | JSM-6701F |
| スペック | 倍率：100～100,000倍 SEM像：二次電子像，反射電子像（組成像、凹凸像） 元素分析機能（EDS）：B(ホウ素）より原子番号の大きい元素についてSEM視野での定性、定量分析が可能 |
| 特記事項 |
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| 導入年度 | H21 |
| 導入事業名等 |
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