試料表面の微細な形状を計測することができます。
形状データは数値データとして得られるので、凹凸量の測定や粗さ測定が可能です。
使用例
・物体の表面粗さ計測
・表面の微細形状計測
使用料項目 | レーザー顕微鏡 |
---|
機器の仕様
メーカー | 株式会社キーエンス |
---|---|
型式 | 制御部:VK-8700 / 計測部:VK-8710 |
スペック | 測定用レーザー:赤色レーザー(波長658 nm) 観察測定範囲:135 μm×101 μm ~ 1350 μm×1012 μm 作動距離:0.3mm ~ 16.5 mm 高さ表示分解能:0.01 μm 高さ測定繰り返し精度:0.03 μm 幅測定表示分解能:0.01 μm 幅測定繰り返し精度:0.03 μm |
特記事項 | 四国経済産業局からの貸与物品です。 |
導入年度 | H19 |
導入事業名等 |
- |
お問い合わせは 資源環境課 まで